정밀 유량 제어 밸브 반도체

SS-20E6 S시리즈 GEKO 고순도 반도체 가스 밸브 및 피팅 반도체 제조 공정에 맞게 설계되었습니다. 매우 깨끗한 뛰어난 성능과 정밀한 유량 제어 기능을 제공합니다. 스테인리스 스틸 및 불소 중합체와 같은 내식성 소재로 제작되었습니다. GEKO 밸브는 탁월한 신뢰성, 누출 없는 밀봉, 그리고 특수 가스와의 탁월한 호환성을 제공합니다. 웨이퍼 제조, 에칭, CVD 및 기타 중요한 클린룸 분야에 이상적입니다.